Prexa SDP(Singulated Device Prober)是東京威力科創(TEL)的單粒化元件測試設備。在 Prexa 等晶圓針測機所累積的多樣應用與高可靠度平台上,導入了針對高發熱元件的獨家溫度控制技術。
可處理 2 × 2mm 至 100 × 100mm 的單粒化元件,實現確實的元件傳送與準確的 KGD(保證良品的晶片)篩選。
採用線性馬達載台,XY 針測精度為 ±1.5µm,針測荷重為 500kg。
測試單粒化元件的東京威力科創針測機。具備針對高發熱元件的獨家溫度控制。
Prexa SDP(Singulated Device Prober)是東京威力科創(TEL)的單粒化元件測試設備。在 Prexa 等晶圓針測機所累積的多樣應用與高可靠度平台上,導入了針對高發熱元件的獨家溫度控制技術。
可處理 2 × 2mm 至 100 × 100mm 的單粒化元件,實現確實的元件傳送與準確的 KGD(保證良品的晶片)篩選。
採用線性馬達載台,XY 針測精度為 ±1.5µm,針測荷重為 500kg。
| 對象 | 單粒化元件(2 × 2~100 × 100 mm) |
|---|---|
| XY 精度 | ±1.5µm |
| 針測荷重 | 500 kg |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。