8935とは
8 シリーズは、KLA の高生産性のパターン付きウェーハ欠陥検査装置で、多様な欠陥を高いスループットで検出し、量産での問題をすばやく見つけて解決します。最新世代が 8935 です。
150・200・300mm の Si、SiC、GaN、ガラスなどの基板で、製品開発から量産まで費用対効果の高い欠陥監視を行います。8935 は新しい光学技術と、DesignWise・FlexPoint による領域を絞った検査で、チップの故障につながる重要な欠陥を捉えます。DefectWise の AI 技術で欠陥の種類をインラインで分けます。
ロジック、メモリ、パワーデバイス、LED、フォトニクス、RF、MEMS など、先端からレガシーまでの幅広いデバイスの欠陥監視に使われ、AR/VR 用レンズや HDD の品質管理にも使われます。現場でのアップグレードにも対応します。
主な特長
- •高スループットの欠陥検出
- •Si・SiC・GaN・ガラス基板に対応
- •DesignWise・FlexPoint・DefectWise AI
- •現場でアップグレード可能
主な仕様
| 方式 | 高生産性のパターン付きウェーハ検査 |
|---|---|
| 対応基板 | 150／200／300 mm の Si・SiC・GaN・ガラスなど |
| 特徴 | DesignWise・FlexPoint・DefectWise AI |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | KLAPuma™ 9980 | KLAVoyager® 1035 | KLA8935（8 シリーズ） | 日立ハイテクDI4600（暗視野式ウェーハ欠陥検査装置） | レーザーテックCIRIUS シリーズ |
|---|---|---|---|---|---|
| 特徴 | NanoPoint などの設計情報を使う検査 | DefectWise 深層学習・量子効率 30% 向上のセンサー | DesignWise・FlexPoint・DefectWise AI | 高スループットと検出感度の両立 | — |
| 主要用途 | 量産ラインの欠陥モニタ | 現像後検査（ADI）・フォトセル監視（EUV） | — | 先端メモリ・ロジックのインライン欠陥管理 | — |
| 方式 | — | レーザー走査型（斜入射照明） | 高生産性のパターン付きウェーハ検査 | — | 独自光学系による内部欠陥検査＋レビュー光学系 |
| 検査対象 | パターン付きウェーハ（ロジック・メモリ） | — | — | パターン付きウェーハ（φ300 mm 専用） | — |
| 検出方式 | レーザースキャン | — | — | 暗視野（シートビーム・空間フィルタ） | — |
1機種だけが掲載している項目（3件）
| 対応基板 | — | — | 150／200／300 mm の Si・SiC・GaN・ガラスなど | — | — |
|---|---|---|---|---|---|
| 機能 | — | — | — | — | 内部欠陥の深さ分類 |
| 対象 | — | — | — | — | 3D NAND などの高積層デバイス・貼り合わせウェーハ |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •パワー・化合物デバイスの欠陥監視
- •ロジック・メモリのライン監視
掲載カテゴリ
8935は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
欠陥検査装置のほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）Therma-Probe® 780（イオン注入量測定装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES A301 microRSP®（シート抵抗測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Voyager® 1035（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））CryoTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））PlasmaSuite（プロセスモニター（EPD/OES））Surfscan® SC1（ウェハ基板検査装置）Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）irArcher® 007（ハイブリッドボンディング装置）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）Quali-Line® Prima® 2（薬液供給システム）QualiSurf®（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07