Puma™ 9980

KLA のレーザースキャン方式パターン付きウェーハ欠陥検査装置。量産モニタに必要なスループットで重要欠陥を捉える。

Puma 9980とは

Puma 9980 は、KLA のレーザースキャン方式パターン付きウェーハ欠陥検査装置です。ロジックとメモリの量産に必要なスループットで、重要な欠陥（DOI）を捉えるための感度と速度の改良を重ねてきた Puma シリーズの機種です。

KLA の欠陥検査・レビューの総合ポートフォリオの一部として、幅広いパターニング層で欠陥の検出能力を高め、量産モニタ向けに高スループットのソリューションを提供します。

NanoPoint などの設計情報を活用する機能を備え、欠陥感度の向上、系統的なニューサンスの分類改善、欠陥座標の精度向上によって、より実用的な検査結果を返します。KLA は広帯域プラズマ光源を使う 39xx／29xx シリーズも展開しており、Puma はそれらと組み合わせてラインモニタに使われます。

主な特長

•レーザースキャン方式による高スループット検査
•NanoPoint など設計情報を使う検査
•系統的ニューサンスの分類改善と欠陥座標精度の向上

主な仕様

検査対象	パターン付きウェーハ（ロジック・メモリ）
検出方式	レーザースキャン
特徴	NanoPoint などの設計情報を使う検査
主要用途	量産ラインの欠陥モニタ

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLAPuma™ 9980	日立ハイテクDI4600（暗視野式ウェーハ欠陥検査装置）
検査対象	パターン付きウェーハ（ロジック・メモリ）	パターン付きウェーハ（φ300 mm 専用）
検出方式	レーザースキャン	暗視野（シートビーム・空間フィルタ）
特徴	NanoPoint などの設計情報を使う検査	高スループットと検出感度の両立
主要用途	量産ラインの欠陥モニタ	先端メモリ・ロジックのインライン欠陥管理