TANDUO 是國際電氣支援 300mm 的單片式處理（膜質改善）設備。負責對沉積後的薄膜加熱以去除雜質、改善膜質的製程。
依製程選擇模組的配置，可組成適合固化（Cure）、退火、脫氣（Degas）等的最佳系統。搭配該公司獨家的高速搬送系統獲得高產出，並以獨家晶座加熱器高均勻地控制晶圓面內溫度。
特點為低汙染、省占地面積、高稼動率，作為高產出的單片式退火設備在全球擁有銷售實績。同為單片式處理設備的還有以 MMT 方式低電子溫度電漿進行氮化・氧化的 MARORA。
TANDUO的特點與規格
國際電氣（KOKUSAI ELECTRIC）・RTP（快速熱處理）設備
國際電氣（KOKUSAI ELECTRIC）的單片式熱處理設備。可透過模組配置選擇退火與薄膜形成，負責批次爐難以應對的短時間處理。
產品概要
主要規格
| 方式 | 單片式 |
|---|---|
| 支援製程 | 退火・薄膜形成 |
| 配置 | 模組選擇式 |
| 相關機種 | MARORA（電漿氮化・電漿氧化） |
| 主要用途 | 單片式熱處理・膜質改善 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
依固化・退火・脫氣選擇模組
以獨家高速搬送系統實現高產出
以晶座加熱器高均勻控制面內溫度
低汙染・省占地面積・高稼動率
主要用途
- 單片式退火（低溫・高溫）
- 薄膜的固化・脫氣
製造商與在台據點
在台據點
- 亞太國際電機（Kokusai Electric Asia Pacific）（新竹）：1996 年 9 月成立的台灣子公司