Advanced TSURUGI 剱是國際電氣的小批次成膜設備。面向結構持續微縮與複雜化的次世代元件，是兼顧高難度成膜與高生產力的熱製程設備。
採用可對三維堆疊元件實現高難度成膜的新反應爐。以容積最小化並最佳化的晶圓反應爐與大排氣量，降低負載效應並提高膜厚均勻性，同時提升反應氣體的置換效率以縮短成膜時間。
具備低發塵・高速的晶圓傳送系統，在高生產力之外，占地面積也比以往減少 10%。
Advanced TSURUGI 剱的特點與規格
國際電氣（KOKUSAI ELECTRIC）・ALD 設備
面向三維堆疊元件採用新反應爐的國際電氣小批次成膜設備。占地面積比以往減少 10%。
產品概要
主要規格
| 方式 | 小批次・熱製程（薄膜形成） |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | 300 mm |
| 特點 | 容積最小化的反應爐・大排氣量・節省占地面積（比以往 −10%） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
以新反應爐對應三維堆疊
降低負載效應
占地面積比以往減少 10%
主要用途
- 三維堆疊元件的薄膜形成
製造商與在台據點
在台據點
- 亞太國際電機（Kokusai Electric Asia Pacific）（新竹）：1996 年 9 月成立的台灣子公司
所屬設備分類
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