Advanced TSURUGI Plus-Ⅲ 剱是國際電氣成膜製程設備的最高階機型。面向結構持續微縮與複雜化的次次世代元件，是兼顧高難度成膜與高生產力的小批次熱製程設備。
以新技術實現對三維堆疊元件的高難度成膜，這類元件需要成膜的表面積進一步增加、結構也更加複雜。以獨家結構的高性能晶圓反應爐降低負載效應並提高膜厚均勻性，同時提升反應氣體的置換效率以縮短成膜時間。
具備高性能的氣體供應與排氣系統、低發塵且高速的晶圓傳送，以及高生產力與節省占地面積。以新的控制器與控制方式實現大容量化與高速化，並可選配收集設備資料與監控運轉狀態的健康檢查功能。