SEMulator3D的特點與規格

SEMulator3D 是科林研發（Lam Research）的半導體製程 3D 模擬軟體。將以實際矽晶圓需花數週到數個月的驗證，透過模擬縮短為數小時到數天。

可減少設備、工程師・工廠人員、晶圓、光罩、化學品、耗材、設施的需求量，因此也能降低成本。

用於製程整合驗證與重大方針決策等路徑探索（Pathfinding）；3D 失效檢查、缺陷致命率，以及電阻・電容・漏電・元件特性的分析；設計與製程最佳化、製程窗口、晶圓面內均勻性等良率爬坡。