品質・良率管理系統（YMS）是什麼
品質・良率管理系統（YMS）是跨領域彙整檢測、量測與測試結果，以統計方式找出良率下降原因的軟體。它將晶圓上的不良分布圖、各製程的量測值與最終測試的合格與否資料相互連結，以共通性分析（commonality analysis）找出經過哪道製程哪台設備的批次不良增加。具備以 SPC 監控製程能力、偵測機台間差異、運用機器學習進行缺陷分類等功能，縮短找出原因所需的時間就是其導入價值。
重點整理
跨領域彙整檢測・量測・測試結果，找出良率因素
以共通性分析鎖定經過哪台設備的批次表現不佳
以 SPC 監控製程能力並偵測機台間差異
縮短找出原因所需的時間即為導入價值
相關用語
比較文章
廠內搬送・自動化的其他分類
AMHS（自動物料搬送系統）
AMHS（Automated Material Handling System）是在半導體晶圓廠內，將晶圓收納於 FOUP（前開式晶圓傳送盒）等容器中，以天車（OHT）、無人搬運車…
設備管理系統（EES）設備管理系統（EES）是根據從製造設備收集的感測器資料，監控設備狀態並及早偵測異常的軟體。
製造執行系統（MES）製造執行系統（MES）是管理晶圓廠內各批次（lot）目前處於哪個製程、接下來應流向哪台設備的系統。
設備通訊介面（SECS/GEM）設備通訊介面（SECS/GEM）是製造設備與主機電腦進行溝通的通訊標準，以及實作該標準的軟體・硬體。
倉儲系統（Stocker）倉儲系統（stocker）是在半導體製造產線中，暫時自動保管・管理 FOUP（晶圓載具）的無人自動倉儲系統。
晶圓對位機（平邊・缺口對準）平邊・缺口對準機（晶圓對位機，wafer aligner）是偵測晶圓外圍的缺口（notch）或定位平邊（orientation flat），並以晶向為基準旋轉至指定角度進行定位的設…
晶圓雷射刻號・ID 讀取設備晶圓雷射刻號・ID 讀取設備是為每 1 片晶圓刻印獨特識別碼，並在製程中讀取的設備。
晶圓分片機（Wafer Sorter）晶圓分片機（wafer sorter）是在多個載具之間重新排列・移轉晶圓的設備。
晶圓傳送設備晶圓傳送設備是在半導體製造產線各製程設備內部・設備之間自動搬送晶圓的機械手臂、處理機構與輸送系統的總稱。