RF-200EX 與 RF-300EX 是 SCREEN 針對新一代功率元件・車用元件的塗佈顯影機（塗佈顯影設備）。承襲多年累積的塗佈・顯影技術，兼顧高生產力與省占地面積。也減少了塗佈時的光阻消耗量與運轉時的耗電量。
RF-200EX 是針對 200mm 晶圓的專用設計，實現省占地面積並支援 DUV 製程。以 300mm 設備累積的多層架構技術為基礎，全新設計了 150～200mm 專用平台，並移植了減少藥液消耗、降低微粒・缺陷、提升保養性等針對最先進製程的單元技術。
RF-300EX 以專為薄晶圓設計的傳送・保持機構，在不破片的情況下穩定進行薄晶圓的塗佈・顯影。可依藥液種類與黏度選擇吐出系統，支援光阻、聚醯亞胺、SOC 等廣泛藥液。