SK-60EX／SK-80EX 是 SCREEN 的塗佈顯影機（塗佈顯影設備）。為因應日益多樣化的電子元件製造需求，充實了所支援的應用與功能。
承襲實績豐富的 60／80 系列高可靠度設計理念，也支援先進領域與特殊用途的功能。全面更新控制系統以因應未來擴充，並維持與 60／80 系列的製程配方相容，可順利增設。
透過配合基板特性的眾多選配，支援薄晶圓、厚基板、AlTiC・鐵氧體系磁性材料基板、玻璃基板、LT 基板、藍寶石基板、雙面有圖形的基板等多種基板。
SK-60EX／SK-80EX的特點與規格
SCREEN（斯庫林）・塗佈顯影機
承襲長銷 60／80 系列的塗佈顯影機。支援薄晶圓・玻璃・LT・藍寶石等多種基板。
產品概要
主要規格
| 方式 | 塗佈・顯影 |
|---|---|
| 適用基板 | 薄晶圓・厚基板・玻璃・LT・藍寶石・磁性材料基板等 |
| 相容性 | 與 60／80 系列配方相容 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
承襲 60／80 系列的可靠度
維持配方相容
多種基板選配
主要用途
- MEMS・SAW・磁頭等的微影
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣迪恩士半導體科技（SCREEN SPE Taiwan）（新竹）：1990 年成立的台灣子公司
- 服務據點（林口・台中・台南）：就近支援北部、中部與南部科學園區的晶圓廠