VM-1020的特點與規格

VM-1020 是 SCREEN 的顯微鏡型光干涉式膜厚量測設備，適合研發用途。由鏡筒、手動 XY 載台、電動轉換器、物鏡、濾鏡插入部、光源組成的顯微鏡部，與光纖輸入式 CCD 光譜儀構成。

同時以可見光全波長範圍量測樣品面的反射光，快速且準確地量測膜厚。透過配方精靈，任何人都能輕鬆建立配方。

除標準的 25 種膜（UV 機型為 29 種）外，使用者可登錄薄膜與基板的光學常數（折射率、吸收係數），建立獨自的量測程式。也可進行光譜反射率量測、3 維分布圖、最多 4 層堆疊膜的同時量測，以及蝕刻速率計算。