VM-1200／VM-1300的特點與規格

VM-1200／VM-1300 是 SCREEN 的桌上型光干涉式膜厚量測設備。也可導入產線。

光譜儀使用 CCD 影像感測器，同時量測可見光全波長範圍，快速且準確地量測膜厚。以配方精靈功能使複雜的配方建立也變得簡單，配方登錄數也大幅增加。

可進行量測資料的 3 維分布圖顯示、膜厚值修正、直方圖顯示、統計計算等細部資料處理。以自動載台與自動對焦進行自動量測，標準支援 25 種膜的膜厚與光譜反射率量測。可同時量測最多 4 層的堆疊膜。