VM-2500／VM-3500 是 SCREEN 的光干涉式膜厚量測設備。適合通訊用元件等的面內多點量測。
高速模式可實現每小時 160 片（SiO₂、5 點量測時）的高產出。也可選擇以全面吸附載台提升多點量測產出的機型。
以記錄保存功能支援維護，並重視使用者自行維護的便利性。配方建立與光學常數輸入簡單，作業系統標準為 Windows 10。VM-3500 可搭載溝槽量測機構，以 1 台完成膜厚與溝槽的量測。
VM-2500／VM-3500的特點與規格
SCREEN（斯庫林）・膜厚量測設備
適合通訊用元件等面內多點量測的光干涉式膜厚量測設備。高速模式每小時 160 片。
產品概要
主要規格
| 方式 | 光干涉式（光譜反射） |
|---|---|
| 產出 | 高速模式每小時 160 片（SiO₂・5 點） |
| 特點 | 溝槽量測機構（VM-3500） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
每小時 160 片的高速模式
全面吸附載台（選配）
溝槽量測（VM-3500）
主要用途
- 通訊用元件的膜厚管理
- 面內多點量測
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣迪恩士半導體科技（SCREEN SPE Taiwan）（新竹）：1990 年成立的台灣子公司
- 服務據點（林口・台中・台南）：就近支援北部、中部與南部科學園區的晶圓廠