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晶圓可取晶粒數(Die Per Wafer)計算工具

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重點

每片晶圓可取得的晶粒數一定少於「晶圓面積 ÷ 晶粒面積」,因為圓形晶圓外圍放不下完整的矩形晶粒,邊緣排除區與切割道也要扣掉。300mm 晶圓放 10×10mm 晶粒約可取 600 顆左右,晶粒越大,外圍損失的比例越高。

輸入

每片可取晶粒數(DPW)612顆
晶粒面積100.00mm²
有效半徑(扣除邊緣排除)147.0mm
晶圓面積利用率86.6%

只計算四個角都落在有效區域內的晶粒。格點原點會在縱橫方向各試半個間距的偏移(共 4 種),取可放最多晶粒的配置。實際光罩布局還有曝光區(shot)的限制,量產數字可能再少幾個百分點。

晶粒尺寸與可取晶粒數

切割道 0.1 mm、邊緣排除 3 mm 的計算值
晶粒尺寸200mm 晶圓300mm 晶圓
2 × 2 mm6,54015,134
5 × 5 mm1,0662,501
10 × 10 mm256612
15 × 15 mm112266
20 × 20 mm57148
26 × 26 mm3282

為什麼可取晶粒數一定少於面積相除

每片晶圓的可取晶粒數(Die Per Wafer, DPW)一定少於「晶圓面積 ÷ 晶粒面積」。原因是在圓形晶圓上排列矩形晶粒,外圍會有放不下完整晶粒的區域,加上邊緣排除區與切割道也要扣掉。晶粒越大,外圍損失的比例越高。

300mm 晶圓的面積是 200mm 的 2.25 倍,但可取晶粒數通常超過 2.25 倍,因為外圍損失的比例變小。DPW 再乘上良率,就是每片晶圓的良品數,也是估算晶片成本的起點。

常見問題

DPW 的估算公式是什麼?
常見近似式為 π·(d/2)²/S − π·d/√(2S)(d 為晶圓直徑、S 為晶粒面積),第二項是外圍損失。本工具不用近似式,而是實際排列格點計算。
為什麼 300mm 的可取晶粒數超過 200mm 的 2.25 倍?
面積比是 2.25 倍,但大尺寸晶圓外圍損失所占比例較小,所以晶粒數的比值通常比面積比更大。

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最後更新:2026年10月22日