フックアップ（Hook-up）とは、半導体工場で製造装置を据え付けたあと、装置と工場のユーティリティ設備を配管や配線でつなぎ込む工事のことです。英語で「接続する・つなぐ」を意味します。装置は単体では動かず、プロセスガス、薬液、超純水、冷却水（PCW）、窒素やドライエア、真空、排気、電源、通信回線など、多くのユーティリティを受け取って初めて稼働できるため、フックアップは装置の立ち上げに欠かせない工程です。
フックアップは一般に、1次側と2次側に分けて考えます。1次側は工場全体に張り巡らせた幹線の配管・配線で、建屋の建設と並行して施工します。2次側は幹線から分岐して個々の装置の接続口までをつなぐ部分で、装置の搬入・据え付けの後に行います。ガス配管では、内面を電解研磨したステンレス管を溶接でつなぎ、漏れがないかの検査、配管内の水分や粒子を除くパージを行います。毒性や可燃性のガスでは、漏洩検知器や緊急遮断弁との連動、排気の接続先となる除害装置との接続も含まれます。
大規模な工場では数百から数千台の装置を接続するため、フックアップは工場の立ち上げ期間と費用の大きな部分を占め、専門の設備工事会社が担います。工事の品質が悪いと、配管からの粒子や金属・水分の混入が歩留まりを下げ、漏洩は重大な事故につながります。そのため、配管の材料・施工・検査の基準が厳しく定められ、装置メーカー・工場・工事会社が接続点（ユースポイント）の仕様をすり合わせたうえで施工されます。
