チョコ停（短時間停止）とは、製造装置が、故障ではない小さなトラブルのために、数秒から数分程度の短い時間だけ止まってしまう現象のことです。ちょこっと止まることからこう呼ばれます。センサーの誤検知、ウェハの位置のわずかなずれ、搬送の待ち、部品の引っかかりなどが原因で、作業者がアラームを解除したり、位置を直したりするとすぐに動き出します。
1回の停止は短く、修理も必要ないため、記録されずに見過ごされがちです。しかし、1日に何十回も起こると、合計の停止時間は大きくなり、装置の生産性を確実に下げます。総合設備効率（OEE）では、チョコ停や速度の低下は「性能稼働率」を下げるロスとして扱われ、故障による長い停止（ドカ停）と並んで、改善の重要な対象とされています。
チョコ停を減らす第一歩は、いつ、どこで、何回止まっているかを正確に記録することです。半導体の装置では、装置と工場のシステムをつなぐSECS/GEMの通信で、アラームや状態の変化を自動で集め、停止の回数と時間を集計できます。多い原因から順に、センサーの調整や部品の交換、ソフトウェアの改善を進め、予兆を捉えて止まる前に手を打つ予知保全にもつなげます。
