SEMI E10とは、半導体の製造装置の信頼性・稼働性・保守性（RAM：Reliability, Availability, Maintainability）を、同じ基準で測るために、装置の状態の分け方と、稼働率やMTBFなどの指標の計算方法を定めたSEMIの規格です。装置のメーカーと半導体メーカーが、装置の性能について同じ言葉で話せるようにすることが目的です。
規格では、装置の時間を大きく6つの状態に分けます。製品を作っている「生産」、生産できる状態で待っている「待機」、条件出しや試験などの「技術作業」、計画した保守などの「予定停止」、故障などの「予定外停止」、そもそも稼働させる予定のない「非稼働予定」です。この分け方に従って時間を集計すると、装置を使える時間の割合（稼働可能率）や、故障の間隔（MTBF）、修理の時間（MTTR）を、工場や装置が違っても比べられます。
SEMI E10の状態の分け方は、総合設備効率（OEE）の考え方を定めたSEMI E79などの基礎にもなっています。装置の状態を自動で記録するには、SECS/GEMの通信で装置の状態の変化を集めます。どの時間をどの状態に入れるかを工場の中でそろえておかないと、同じ装置でも指標の値が変わってしまうため、運用のルールを決めておくことが重要です。
