QualiSurfとは
QualiSurf は、KLA のオンライン薬液監視システムです。半導体の FEOL、MOL、BEOL の先端の洗浄とウェットエッチングで、最適でない薬液による無駄を減らします。
薬液の成分だけでなく、エッチングで生じた物質や工程の汚染物質（回収薬液の場合）も対象にし、分光、電気化学、滴定など 15 以上の分析法から知見を得ます。
自動の校正、検証、分析器の自己診断で、高い精度と再現性を確保します。SiGe・窒化膜・ポリシリコンのエッチング、W・Cu・Co のエッチング後残渣除去、ハードマスクやエッチストップ層の除去、レジストの除去や再処理などに使われます。
主な特長
- •15 以上の分析法
- •エッチング生成物・汚染物も監視
- •自動校正・自己診断
主な仕様
| 方式 | オンライン薬液監視（15 以上の分析法） |
|---|---|
| 対象 | FEOL・MOL・BEOL のウェットエッチング・洗浄 |
| 特徴 | 自動校正・検証・自己診断 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | エア・ウォーター特殊ケミカル供給装置 | EntegrisFluoroPure® 容器／Sentry® クイックコネクト | KLAQuali-Line® Prima® 2 | KLAQualiSurf® |
|---|---|---|---|---|
| 主要用途 | 成膜装置等への高純度ケミカル供給 | バルク薬液の汚染なき供給 | 先端ノードの Cu めっき | — |
| 供給対象 | 特殊ケミカル（毒性・可燃・腐食性材料を含む） | 高純度液体薬液 | — | — |
| 構成 | 供給装置・蒸気量制御用の恒温槽ほか | フッ素樹脂容器・中間バルク容器・クイックコネクト | — | — |
| 方式 | — | — | オンライン薬液分析・管理 | オンライン薬液監視（15 以上の分析法） |
| 対象 | — | — | 銅ダマシンめっき液（低・超低・高 Cu 濃度） | FEOL・MOL・BEOL のウェットエッチング・洗浄 |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 特徴 | — | — | — | 自動校正・検証・自己診断 |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •ウェットエッチング・洗浄の薬液管理
掲載カテゴリ
QualiSurfは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
薬液供給システムのほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）Therma-Probe® 780（イオン注入量測定装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES A301 microRSP®（シート抵抗測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Voyager® 1035（欠陥検査装置）8935（8 シリーズ）（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））CryoTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））PlasmaSuite（プロセスモニター（EPD/OES））Surfscan® SC1（ウェハ基板検査装置）Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）irArcher® 007（ハイブリッドボンディング装置）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）Quali-Line® Prima® 2（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07