SU7000

複数の信号を同時に取得して観察・分析のスループットを上げたショットキー電界放出形走査電子顕微鏡。

SU7000とは

SU7000 は、日立ハイテクの超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡（FE-SEM）です。現代の FE-SEM には、高い性能だけでなく、広視野観察、その場分析、低真空、低加速電圧での高分解能観察、複数信号の同時取得など多くの機能が求められており、SU7000 はこれらに応えるよう設計されています。

新しく設計した電子光学系と検出系で、複数の二次電子・反射電子信号を効率よく同時に取得し、最大 6 つの信号を同時に処理・表示・保存できます。広い視野からサブナノメートルの構造まで、さまざまな観察ニーズに対応します。

試料室と真空系は、大きな試料、多軸の試料操作、低真空、クライオ、加熱・冷却のその場観察に最適化されています。電子銃は最大 200nA のビーム電流を出せるショットキーエミッタで、微小部の元素分析などのマイクロ分析にも対応します。半導体デバイスや材料の形態観察に使われます。

主な特長

•最大 6 信号の同時取得・表示
•低加速電圧での高分解能観察
•低真空・クライオ・加熱冷却のその場観察
•最大 200nA のショットキーエミッタ

主な仕様

観察方式	ショットキー FE-SEM
特徴	6 種類の信号を同時取得
関連機種	Regulus シリーズ（冷陰極 FE-SEM）／SU9000II
主要用途	微細構造の観察・元素分析

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	日立ハイテクSU7000	日本電子（JEOL）JSM-IT810	レーザーテックOPTELICS® HYBRID+
観察方式	ショットキー FE-SEM	ショットキー FE-SEM	白色／レーザーコンフォーカル顕微鏡
特徴	6 種類の信号を同時取得	倍率最大 200 万倍・加速電圧 0.01 ～ 30 kV・EDS/WDS/EBSD 等を同時搭載	6 波長選択・微分干渉・白色干渉・反射分光膜厚測定
主要用途	微細構造の観察・元素分析	ナノスケールの観察・分析	半導体材料・デバイス・MEMS の観察と形状測定
関連機種	Regulus シリーズ（冷陰極 FE-SEM）／SU9000II	JSM-IT800（前機種・販売終了）	—