OPTELICS® HYBRID+

白色コンフォーカルとレーザーコンフォーカル（405 nm）の光学系を組み合わせたハイブリッドレーザーマイクロスコープ。

OPTELICS HYBRID+とは

OPTELICS HYBRID+ は、レーザーテックのハイブリッドレーザー顕微鏡です。業界初のハイブリッドレーザー顕微鏡として、複数の装置の機能を1台に統合しています。

白色コンフォーカル顕微鏡、レーザーコンフォーカル顕微鏡、微分干渉観察、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定の 6 つの機能を持ちます。高倍率・高解像度で電子顕微鏡に匹敵する性能を持ち、微小な凹凸をリアルタイムに高いコントラストで可視化します。

業界最高レベルの 15Hz のフレームレートで高速に測定できます。垂直式白色干渉ではミリ単位の広い範囲をナノ単位の精度で、位相シフト干渉ではオングストロームレベルの形状を、反射分光では 1 ミクロン以下の透明薄膜の膜厚を測れます。計測・解析ソフトの LM eye、自動測定ソフトの LIBRA、自動検査・欠陥分類ソフトの LM Inspect、全自動搬送の W シリーズも用意しています。

主な特長

•6 つの観察・測定機能を1台に統合
•15Hz の高速フレームレート
•白色干渉・位相シフト干渉・反射分光膜厚
•自動測定・自動欠陥分類ソフト、全自動搬送

主な仕様

観察方式	白色／レーザーコンフォーカル顕微鏡
特徴	6 波長選択・微分干渉・白色干渉・反射分光膜厚測定
主要用途	半導体材料・デバイス・MEMS の観察と形状測定

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	日立ハイテクSU7000	日本電子（JEOL）JSM-IT810	レーザーテックOPTELICS® HYBRID+
観察方式	ショットキー FE-SEM	ショットキー FE-SEM	白色／レーザーコンフォーカル顕微鏡
特徴	6 種類の信号を同時取得	倍率最大 200 万倍・加速電圧 0.01 ～ 30 kV・EDS/WDS/EBSD 等を同時搭載	6 波長選択・微分干渉・白色干渉・反射分光膜厚測定
主要用途	微細構造の観察・元素分析	ナノスケールの観察・分析	半導体材料・デバイス・MEMS の観察と形状測定
関連機種	Regulus シリーズ（冷陰極 FE-SEM）／SU9000II	JSM-IT800（前機種・販売終了）	—