VR300DH3

KOKUSAI ELECTRIC グループの国際電気セミコンダクターサービスが製造する全自動の4探針抵抗率測定器。

VR300DH3とは

VR300DH3 は、KOKUSAI ELECTRIC グループの 4 探針法による抵抗率・シート抵抗のフルオート測定装置です。200mm ウェーハ向けの自動搬送システムを備えています。

プローブ駆動コントロールシステムにより、シリコンウェーハや磁性体薄板などの導電性試料の抵抗率とシート抵抗を高精度に測定します。極薄膜や極浅イオン注入層の測定に対応し、オプションで低抵抗試料向けの測定レンジも用意しています。

レシピによるセットアップ、高スループット化、オープンカセットタイプの 1 ロードポート、プローブ針先端の自動コンディショニング（オプション）、抵抗率分布の等高線・3 次元マップ作図機能を備え、操作画面は SEMI E95 に準拠しています。シリコンやポリシリコンなどの材料評価、イオン注入・拡散・メタル膜の工程管理に使われます。

主な特長

•4 探針法のフルオート測定、200mm 自動搬送
•プローブ駆動コントロールによる高精度測定
•極薄膜・極浅イオン注入層に対応
•等高線・3D マップ作図、SEMI E95 準拠の画面

主な仕様

測定方式	4探針法（接触・全自動）
関連機種	VR300DSE-2P（全自動）／VR300DEC・VR250（マニュアル）
主要用途	シリコンウェーハなど導電性試料の抵抗率・シート抵抗

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ナプソンRT-3000／RG-2000（RG-3000）	KLAFilmetrics® R54	Kokusai Electric（国際電気）VR300DH3
測定方式	4探針法（接触・セミオート）	4探針法（接触）／渦電流（非接触）	4探針法（接触・全自動）
主要用途	Si・ポリ Si・SiC・新素材の抵抗率マップ	半導体・化合物半導体の金属膜管理	シリコンウェーハなど導電性試料の抵抗率・シート抵抗
対応ウェハ径	～ 8 インチ（RG-3000 は～ 12 インチ）	300 mm まで	—
測定範囲	シート抵抗 1 mΩ/sq ～ 10 MΩ/sq（RT-3000(S)）	シート抵抗・金属膜厚・シートコンダクタンス	—