シート抵抗測定装置メーカー3社
シート抵抗測定装置は、拡散層や金属薄膜の単位面積あたりの抵抗（Ω/sq）を測定し、ドーピング濃度や膜厚の面内均一性を評価する装置です。4探針法（フォーポイントプローブ）は探針を接触させて直接測る標準的手法で、渦電流方式は非接触で金属膜の抵抗を測れます。イオン注入とアニールの組み合わせが狙いどおりの活性化を得ているか、スパッタ膜の厚みが均一かを確認する、前工程の基本的なモニタ装置です。
主要特徴
メーカー
3社の主要メーカー
半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出と先進データ分析により、歩留まり向上とプロセス開発を加速。
- •検査・計測装置における世界的リーダー
- •AI・データ分析を統合した先端プロセスコントロール
抵抗率・シート抵抗測定装置の専業メーカー。四探針法と渦電流を用いた非接触方式の両方を持ち、シリコンウェハやエピウェハ、金属薄膜の抵抗評価に使われる。
- •四探針法と非接触渦電流方式の両方に対応
- •抵抗率・シート抵抗測定に特化した専業性
バッチ式縦型CVD・熱処理装置の世界的リーダー。酸化・窒化・ALD成膜を高スループットで実現し、DRAM・NANDのゲート絶縁膜形成に不可欠。
- •バッチ式縦型CVDで世界最高水準のスループット
- •バッチALD装置による高アスペクト比への均一成膜
関連カテゴリ
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