蝕刻設備的主要廠商
蝕刻設備以電漿把薄膜選擇性地去除，刻出電路圖形。市場由科林研發、東京威力科創與應用材料三家競爭，三家擅長的蝕刻對象（介電質・導體）不同。
市場結構
競爭：科林研發、東京威力科創、應用材料三強鼎立，依介電質蝕刻與導體蝕刻各有擅長。日立先端科技也供應導體蝕刻設備。
主要廠商與強項
| 廠商 | 總部 | 強項 |
|---|---|---|
| 科林研發（Lam Research） | 美國 | 導體與介電質蝕刻、高深寬比蝕刻 |
| 東京威力科創（TEL） | 日本 | 介電質蝕刻 |
| 應用材料（Applied Materials） | 美國 | 導體蝕刻 |
| 日立先端科技（Hitachi High-Tech） | 日本 | 導體蝕刻 |
表中順序不代表市占排名。有連結的廠商可查看在台據點與主力產品。
比較廠商時的觀點
蝕刻對象（矽・金屬・氧化物・氮化物）與選擇比
高深寬比蝕刻能力（3D NAND、DRAM 電容）
原子層蝕刻（ALE）等精密控制
蝕刻設備廠商的常見問題
蝕刻設備的主要廠商有哪些？
科林研發、東京威力科創與應用材料三家為主，日立先端科技也供應部分導體蝕刻設備。