檢測・量測設備的主要廠商
檢測設備找出晶圓與光罩上的缺陷，量測設備測量膜厚、線寬與疊對誤差。科磊在整體上領先，光罩檢測有 Lasertec，關鍵尺寸電子顯微鏡（CD-SEM）以日立先端科技為強。
市場結構
寡占：科磊綜合實力領先；EUV 光罩檢測以 Lasertec 為代表，CD-SEM 以日立先端科技為強，應用材料也供應電子束檢測設備。
主要廠商與強項
| 廠商 | 總部 | 強項 |
|---|---|---|
| 科磊（KLA） | 美國 | 晶圓缺陷檢測、量測、光罩檢測 |
| 應用材料（Applied Materials） | 美國 | 電子束檢測與量測 |
| 日立先端科技（Hitachi High-Tech） | 日本 | 關鍵尺寸電子顯微鏡（CD-SEM） |
| Lasertec | 日本 | EUV 光罩・光罩基板檢測 |
| Onto Innovation | 美國 | 光學量測、先進封裝檢測 |
| Nova | 以色列 | 光學與材料量測 |
表中順序不代表市占排名。有連結的廠商可查看在台據點與主力產品。
比較廠商時的觀點
可偵測的缺陷尺寸與檢測速度
量測的重複性與機台間一致性
與良率管理系統的資料整合
檢測・量測設備廠商的常見問題
半導體檢測設備的龍頭是哪一家？
科磊在檢測與量測的綜合實力領先，光罩檢測與 CD-SEM 等特定領域則有 Lasertec、日立先端科技等專業廠商。