CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor:互補式金屬氧化物半導體)是將n通道MOSFET(nMOS)與p通道MOSFET(pMOS)以互補方式成對組合的電路架構,是現代所有數位LSI(CPU、GPU、記憶體、SoC)的基礎技術。由於依輸入只有nMOS或pMOS其中一方導通,在穩態下幾乎沒有電流流通,可實現極低的功耗。
基本架構CMOS反相器是在電源側接pMOS、接地側接nMOS並串聯。輸入為「H」時nMOS導通、輸出為「L」;輸入為「L」時pMOS導通、輸出為「H」。除了兩者同時強導通的瞬間以外,不會有貫穿電流流通,因此特點是待機功耗小,雜訊容限也大。
CMOS自1980年代以後成為主流,是因為在功耗、積集度與可擴展性方面遠優於雙極性及NMOS邏輯。CMOS隨著微縮(摩爾定律)持續提升性能與密度,立體結構從平面型演進到FinFET、GAA(閘極全環),但CMOS的原理一直延續下來。
製造上以分別形成n井與p井的雙井CMOS為基本,防範寄生閘流體動作所引起的閂鎖效應(護環或STI元件隔離)十分重要。它也與HKMG(High-k/金屬閘極)及多重Vt設計密切相關,是支撐邏輯、影像感測器(CIS的讀出電路)等廣泛用途的核心技術。