UPS（Uninterruptible Power Supply：不斷電系統）是在停電或電壓驟降時，由內建的蓄電池等供應電力，使所連接的設備不停機、持續運轉的電源設備。在半導體廠中，即使極短時間的電源擾動也會使製造中的晶圓報廢，安全設備停止更可能導致重大事故，因此以UPS為首的電源對策不可或缺。
半導體廠中特別成問題的，是因雷擊等使電壓僅下降數十毫秒至數秒的瞬間電壓下降（電壓驟降）。即使不是完全停電，只要製造設備的控制系統、幫浦、高頻電源停止一瞬間，處理中的晶圓就會因條件失準而報廢，設備重新啟動也需要時間。因此，會在設備控制系統、毒性氣體的監測・排氣・尾氣處理設備等與安全相關的設施，以及生產管理電腦上設置UPS。對於全廠的大型負載，則會搭配僅在電壓驟降期間補償電壓的電壓驟降補償裝置，或使用飛輪的方式。
UPS有幾種方式。隨時將電力經由蓄電池的電路轉換後供應的線上式（常時變頻式），沒有切換的瞬間、不易受電源擾動影響，因此用於重要設備。平時直接供應市電、異常時才切換為蓄電池供電的方式，效率高且價格低。此外，在設備端也要求能耐受電壓驟降，SEMI F47規格要求設備在規定深度與時間的電壓下降期間能持續運作。