使用點（Point of Use：POU）是指氣體・化學品・超純水等實際被使用的位置，也就是製造設備前端或設備內的供應口。指的是從工廠中央的製造・供應設施經過長距離管線送達的流體，最終接觸晶圓之前的位置。在半導體領域，它是保證與管理所供應流體品質的基準點，具有重要意義。
之所以重視使用點，是因為中央設施所製造的流體純度，在通過管線的過程中可能劣化。超純水即使在製造設備出口處純度極高，也可能因管線材料的溶出、滯留造成的細菌繁殖、微粒產生而使水質下降。因此水質原則上不是在製造設備出口，而是在使用點量測與保證。氣體與化學品也一樣，會在使用點前端設置過濾器（POU過濾器）或純化器（POU純化器），去除在管線途中混入的微粒以及水分・金屬雜質。
排氣側也有使用點的概念。使用毒性或可燃性氣體的設備，在送往工廠中央的廢氣處理設施之前，會先以設置在設備旁的尾氣處理設備（POU洗滌器，POU scrubber）將氣體無害化。這是為了防止長距離管線輸送過程中的洩漏，以及固體物在管線內析出。如上所述，在使用點確保品質與安全，隨著微縮化所要求的潔淨度提高而日益重要。