SOG（Spin-On Glass：旋塗玻璃）是將溶有氧化矽前驅物的液體滴在晶圓上，以高速旋轉（旋轉塗佈）薄而均勻地塗開，再加熱、固化形成 SiO₂ 膜的成膜方法。由於是塗上液體後固化，適合用於填平凹凸、使表面平坦的平坦化與間隙填充（gap fill）。
SOG 材料有無機的矽酸鹽系與含有機基的矽氧烷系，更廣義來說還包括各種塗佈型絕緣膜（SOD：Spin-On Dielectric）。相對於 CVD 從氣相堆積薄膜，SOG 的強項是可利用液體的流動性填滿狹窄間隙與段差。
用途包括多層內連線中層間介電層的平坦化（過去的主要用途）、STI（淺溝槽隔離）窄溝槽的填充，以及高深寬比結構的間隙填充等。塗佈後的固化收縮、龜裂與釋氣的管理是品質上的要點。
SOG 也已發展為低介電常數（Low-k）塗佈膜，可搭配 層間介電層（ILD）、sti、cmp、low-k 各條目一起閱讀，以理解絕緣膜形成與平坦化的各種選項。材料由東京應化（TOK）、Honeywell、JSR 等公司供應。