膨潤（Swelling）是樹脂等高分子材料吸收溶劑或水等液體後，不溶解而體積膨脹的現象。它是液體分子進入高分子鏈之間所造成，果凍或乾豆吸水膨脹也是膨潤的例子。交聯成網狀的高分子吸收液體後也不會溶解而只會膨脹，因此容易發生膨潤。
在半導體領域，光阻顯影時的膨潤在歷史上很重要。過去主流的環化橡膠系負型光阻，即使是曝光後交聯而不溶的部分，也會吸收有機溶劑顯影液而膨潤。膨脹的圖案會與相鄰圖案相黏或蛇行，形狀崩壞，無法製作微細圖案。相對地，使用酚醛樹脂（novolac）的正型光阻，即使以鹼性水溶液（TMAH）顯影也幾乎不會膨潤，因此能提高解析度，成為1980年代以後微縮化的主流。現今的負型光阻，也透過顯影液的選擇與樹脂設計來抑制膨潤。
膨潤也出現在其他製程。CMP研磨墊會吸收水與研磨液而膨潤，硬度與形狀隨之改變，因此透過初期的磨合（break-in）與保管條件加以管理。光阻剝除時，會先以剝除液使光阻膨潤再去除，以有效率地剝離。多孔質低介電常數膜與封裝樹脂若吸水膨潤，會造成介電常數上升、應力變化與剝離，因此會導入抑制吸濕的處理與乾燥步驟。