UPS（Uninterruptible Power Supply：無停電電源装置）とは、停電や電圧の急な低下が起きても、内蔵した蓄電池などから電力を供給して、つながった機器を止めずに動かし続けるための電源装置です。半導体工場では、ほんのわずかな時間の電源の乱れでも製造中のウェハが不良になり、安全設備が止まれば重大な事故につながるため、UPSをはじめとする電源の対策が欠かせません。
半導体工場で特に問題になるのは、落雷などで電圧が数十ミリ秒から数秒だけ下がる瞬時電圧低下（瞬低）です。完全な停電でなくても、製造装置の制御系やポンプ、高周波電源が一瞬でも止まると、処理中のウェハは条件が狂ってスクラップになり、装置の再立ち上げにも時間がかかります。このため、装置の制御系や、毒性ガスの監視・排気・除害装置などの安全に関わる設備、生産管理のコンピューターにはUPSを設けます。工場全体の大きな負荷には、瞬低の間だけ電圧を補う瞬低補償装置や、フライホイールを使う方式が組み合わされます。
UPSにはいくつかの方式があります。常に電力を蓄電池を経由する回路で変換して供給する常時インバータ方式は、切り替えの瞬間がなく電源の乱れの影響を受けにくいため、重要な設備に使われます。通常は商用の電源をそのまま供給し、異常時に蓄電池からの供給に切り替える方式は、効率が高く安価です。また、装置の側でも瞬低に耐えられるよう、SEMI F47という規格で、決められた深さと時間の電圧低下の間は動作を続けられることが求められています。