CS5000 是日立高新技術（Hitachi High-Tech）的高解析度 FEB 量測設備（CD-SEM）。為對應 3・4・6・8 吋晶圓的量測 SEM，搭載該公司累積的最先進量測技術，二次電子解析度與量測重現性較舊機型更高。
將量測作業自動化，提高既有產線的生產力。只需簡單切換即可自動傳送最多 3 種晶圓尺寸，並對應 SiC、GaN、玻璃等絕緣體晶圓等多種材質。透過新的電子光學條件，過去機型無法量測的絕緣體晶圓也能量測。
設備尺寸與操作畫面考量了與既有設備的替換或併用，並大幅改良晶圓傳送，提高連續量測時的處理能力。適合多品種量產的半導體元件生產。