CR7300 系列是日立高新技術（Hitachi High-Tech）支援線上使用的缺陷複查 SEM。移動到光學式等檢測設備找到的缺陷位置拍攝高解析度 SEM 影像，判別缺陷種類，藉此協助改善良率。
特點是高速 ADR（自動缺陷複查）與高精度 ADC（自動缺陷分類），搭載 AI-ADC 提高缺陷分類精度。產能為該公司舊機型的 2 倍。具備可支援最先進元件開發與量產的 SEM 解析度。
也可對支援 3nm 世代之無圖案晶圓上的缺陷進行複查與分析。此外，也能在半導體製程途中將電性（電阻・電容）指標化。相關產品有暗場式缺陷檢測設備 DI4600・DI2800 與晶圓表面檢測設備 LS 系列。