CG7300 是日立高新技術（Hitachi High-Tech）的高解析度 FEB 量測設備（CD-SEM）。定位為對應 EUV 世代元件量產的高可靠度 CD-SEM，能以高精度與高可靠度進行多樣的量測。
透過在原子尺寸等級縮小機台間差異，實現高可靠度的製程管理。機台間匹配較舊機型提升約 10%。藉由耐環境性能的提升，以及高速掃描方式的充電控制，可取得更清晰、更高解析度的影像。
改善低倍率影像的畸變後，可對應從高精度 CD 量測到大範圍 CDU（CD 均勻性）量測的廣泛需求。透過高速傳送系統提高產能，以及改善晶圓外圍的量測排除區域（Edge Exclusion），也有助於提升生產力。