CV7300 是日立高新技術（Hitachi High-Tech）的高加速 CD-SEM（尺寸量測用掃描式電子顯微鏡），為加速電壓 60kV 的線上 CD 量測 SEM 設備。
可實現 200 層以上 3D NAND 製造所需的深孔與深溝高精度尺寸量測。也用於先進 DRAM 與邏輯元件的高精度疊對（Overlay）量測。
產能較以往提升 20%，在提高尺寸與疊對量測精度的同時，也降低了機台間的量測變異。
CV7300的特點與規格
日立高新技術（Hitachi High-Tech）・CD-SEM
加速電壓 60kV 的線上 CD 量測 SEM，量測 200 層以上 3D NAND 的深孔・深溝，以及先進 DRAM・邏輯的疊對。
產品概要
主要規格
| 方式 | 高加速 CD-SEM（加速電壓 60kV） |
|---|---|
| 產能 | 較舊機型提升 20% |
| 主要用途 | 3D NAND 的深孔・深溝量測，DRAM・邏輯的疊對量測 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
加速電壓 60kV
深孔・深溝的尺寸量測
產能提升 20%
降低機台間變異
主要用途
- 3D NAND 的深孔量測
- DRAM・邏輯的疊對量測
製造商
日立高新技術（Hitachi High-Tech）（總部：日本）
所屬設備分類
相關用語
同分類的其他機型
- PROVision 10 eBeam Metrology應用材料（Applied Materials）
- PROVision 4E eBeam Metrology應用材料（Applied Materials）
- VeritySEM 20 CD Metrology應用材料（Applied Materials）
- VeritySEM 6C CD Metrology應用材料（Applied Materials）
- VeritySEM 6D CD Metrology應用材料（Applied Materials）
- VeritySEM AP CD Metrology應用材料（Applied Materials）
- CG7300日立高新技術（Hitachi High-Tech）
- CS5000日立高新技術（Hitachi High-Tech）
- GT2000日立高新技術（Hitachi High-Tech）