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KLA／オーバーレイ計測装置

Archer™ Power

パワーデバイスや特殊デバイス向けの重ね合わせ・CD 計測装置。150〜300mm と多様な基板に対応する。

Archer Powerとは

Archer Power と Archer Power XT は、KLA の重ね合わせ誤差と CD（寸法）の計測装置です。パワーデバイス、ロジック、メモリ、LED、フォトニクス、RF、MEMS などさまざまなチップに対応します。

高い生産性、厳しい総合計測不確かさ（TMU）、工程監視の指標で、研究開発、パスファインディング、量産で費用対効果の高い計測を行います。

広く採用されている量産実績のある重ね合わせ計測プラットフォームをもとに作られ、150・200・300mm と 150／200mm・200／300mm のブリッジ構成に対応します。厚さの異なるウェーハや、Si・SiC・GaN・GaAs・ガラス・サファイアなどの基板を同じラインで扱えます。

主な特長

  • •重ね合わせと CD を計測
  • •150〜300mm・ブリッジ構成
  • •多様な基板・厚さに対応

主な仕様

方式イメージング重ね合わせ・CD 計測
対応ウェハ径150／200／300 mm・ブリッジ構成
対応基板Si・SiC・GaN・GaAs・ガラス・サファイアなど

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目KLAArcher™ 750KLAATL100™KLAArcher™ PowerASMLYieldStar 1390ASMLYieldStar 1385ASMLYieldStar 500Onto InnovationIVS 380Onto InnovationIVS 280ニコン（Nikon）Litho Booster
方式—スキャトロメトリ重ね合わせ計測（波長可変レーザー・分解能 1nm）イメージング重ね合わせ・CD 計測光学計測（エッチング後）光学計測（エッチング後）回折ベースの光学計測（エッチング前）光学式の重ね合わせ・CD・Z 高さ計測——
特徴波長可変光源リアルタイム Homing・ダイ内／小ピッチターゲット対応—高強度光源・機械学習アルゴリズム複数層の同時計測・高いサンプリング密度TWINSCAN ステージ技術・新センサー———
対応基板——Si・SiC・GaN・GaAs・ガラス・サファイアなど———200mm（SMIF）・300mm（FOUP）、Si・ガラス・CCLSi・SiC・石英・ガラス・GaAs・GaN・LiNbO₃—
対応ウェハ径——150／200／300 mm・ブリッジ構成————100〜200 mm—
測定項目———デバイス上の重ね合わせ・傾き・CD—重ね合わせ・フォーカス———
1機種だけが掲載している項目（10件）
測定方式イメージングベース・オーバーレイ計測————————
対象世代7nm 以下ロジック・先端メモリ————————
関連機種Archer 800（後継）・ATL100（散乱計測方式）————————
対象ノード—7nm 以下———————
測定対象————デバイス上の特徴・専用の小型ターゲット————
主要用途——————RDL 配線・ポスト・バンプの計測——
信頼性———————MTBF 2,000 時間超—
計測————————露光前の全ウェハ・全ショットのグリッド歪み
補正————————露光装置へのフィードフォワード
組み合わせ————————液浸スキャナー・ドライスキャナー

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

主な用途

  • •パワーデバイスの重ね合わせ管理
  • •LED・RF・MEMS の CD 監視

掲載カテゴリ

Archer Powerは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。

オーバーレイ計測装置

オーバーレイ計測装置は、多層リソグラフィ工程において前のパターン層と現在の露光層の位置ずれ（オーバーレイ誤差）を光学的に高速・精密計測する装置です。

メーカー 5 社

メーカー

KLA

半導体検査・計測装置の世界的リーダー。AI駆動の欠陥検出と先進データ分析により、歩留まり向上とプロセス開発を加速。

KLA の企業情報 →メーカー公式の製品ページ ↗

オーバーレイ計測装置のほかの製品

Archer™ 750（KLA）ATL100™（KLA）YieldStar 1390（ASML）YieldStar 1385（ASML）YieldStar 500（ASML）IVS 380（Onto Innovation）IVS 280（Onto Innovation）Litho Booster（ニコン（Nikon））

KLAのほかの製品

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関連用語

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出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07
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