YieldStar 1390的特點與規格

YieldStar 1390 是艾司摩爾（ASML）的單機光學量測設備，為 YieldStar 1385 的後繼機。提升了蝕刻後製程監控的產能。

能以奈米級精度快速且準確地量測元件上的疊對（in-device overlay）。在蝕刻後量測中，可直接在元件結構上監控疊對，比使用掃描式電子顯微鏡（SEM）的方法更快，因此能在壓低成本的同時提升疊對性能與良率。

以新的高強度光源提升產能與精度。透過機器學習演算法與訊號處理的進步，將蝕刻後量測的用途擴展到元件上的傾斜與 CD。