Castor的特點與規格

Castor 是科磊（KLA）的圖案化晶圓檢測・量測設備，是針對矽基 OLED（OLEDoS）製造中左右良率之課題的一體化解決方案。

以 1 次處理完成缺陷檢測、複檢與 3D 量測。從陽極層成膜到薄膜封裝、蓋板玻璃，以高靈敏度缺陷檢測與先進分類支援整個製程的品質管理。

在薄膜封裝（TFE）步驟中以非破壞方式快速量測埋藏缺陷的高度，迅速找出並解決製程問題。用於提升 VR、MR 等近眼顯示器所用超高解析度微型顯示器的良率。