Vera 是應用材料(Applied Materials)的明場圖案化晶圓檢測設備,屬於面向物聯網・通訊・車用・功率・感測器(ICAPS)的產品系列中的 1 款,為非先進節點的晶片製造商提供以 DUV 雷射光源進行的全面檢測。
隨著智慧化、聯網化產品增加,成熟節點專用半導體的需求持續成長。這類用途同時需要檢出影響良率的系統性缺陷,以及檢出影響可靠度的潛在缺陷。
以 Enlight 平台的架構為基礎,透過高 NA 光學系統、明場・灰場 2 通道檢測與新型檢測演算法,以低持有成本實現高解析度與高靈敏度。