最後更新:2026年10月23日光學式晶圓檢測設備

Vera Optical Inspection的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・光學式晶圓檢測設備

使用 DUV 雷射的明場圖案化晶圓檢測設備。面向成熟節點的 ICAPS,也能檢出潛在的可靠度缺陷。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Vera 是應用材料(Applied Materials)的明場圖案化晶圓檢測設備,屬於面向物聯網・通訊・車用・功率・感測器(ICAPS)的產品系列中的 1 款,為非先進節點的晶片製造商提供以 DUV 雷射光源進行的全面檢測。

隨著智慧化、聯網化產品增加,成熟節點專用半導體的需求持續成長。這類用途同時需要檢出影響良率的系統性缺陷,以及檢出影響可靠度的潛在缺陷。

以 Enlight 平台的架構為基礎,透過高 NA 光學系統、明場・灰場 2 通道檢測與新型檢測演算法,以低持有成本實現高解析度與高靈敏度。

主要規格

檢測方式明場+灰場(DUV 雷射)
基礎Enlight 平台
對象成熟節點的 ICAPS 元件

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

DUV 雷射明場檢測
明場・灰場 2 通道
檢出潛在的可靠度缺陷

主要用途

  • ICAPS 元件的缺陷檢測
  • 車用的可靠度管理

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials Vera