ComPLUS 5P Optical Inspection的特點與規格

ComPLUS 5P 是應用材料（Applied Materials）的光學式缺陷檢測設備，針對物聯網・通訊・車用・功率・感測器（ICAPS）與成熟邏輯領域中，邁向比 90nm 更微細節點的晶圓廠製程管理進行最佳化。

透過提升雷射輸出、光電倍增管、彈性照明、偏光控制與新型檢測像素提高訊雜比（S/N），找出左右良率的缺陷。

改良影像處理與載台，以暗場・灰場・明場同時檢測，因此比需要反覆多次檢測的方式更能壓低持有成本。