C30x 系列是科磊（KLA）寬頻電漿照明的光學式缺陷檢測設備，用於車用、物聯網、5G、消費性電子、工業（軍事・航太・醫療）晶片製造中的系統性缺陷發現與潛在可靠度缺陷檢出。
以可調波長的寬頻照明、先進光學系統與低雜訊感測器，在各種製程層與元件中捕捉關鍵缺陷。以 NanoPoint 技術將檢測集中在可靠度失效風險高的圖案部位，提供可減少良品誤判報廢（漏殺・過殺）的實用資料。
在研發階段藉由發現系統性缺陷加快新製程與新節點的評估，在量產階段則以光學檢測的速度與高靈敏度進行關鍵層的線上監控。是支援 200mm 與 300mm 的可擴充平台。