HawkEye Optical Inspection的特點與規格

HawkEye 是應用材料（Applied Materials）的暗場光學式檢測設備，可檢測圖案化晶圓，找出微粒、圖案缺陷、刮傷、突起等缺陷。

用於蝕刻、CMP、薄膜沉積、微影、離子佈植等步驟之後。以 DUV 雷射光源提升靈敏度與處理速度，可檢測記憶體與邏輯的鰭片、GAA 層與導線層，最小至 2nm。也支援物聯網・通訊・車用・功率・感測器（ICAPS）的多種元件。

據廠商表示，組合使用明場與暗場檢測是具成本效益之良率管理的關鍵，而 HawkEye 以低持有成本壓低整體檢測成本。