VERTEX Revolution

300mm の設計思想を取り入れた 200mm 向けバッチ縦型熱処理装置。150mm 以下のウェーハにも対応する。

VERTEX Revolutionとは

VERTEX Revolution は、KOKUSAI ELECTRIC の 200mm ウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置です。豊富な納入実績を持つベストセラー機 VERTEX シリーズの最新版で、少量多品種ラインから大量生産ラインまで、ニーズに合わせた機種を選べます。150mm 以下のウェーハにも対応します。

既存の VERTEX シリーズとのプロセス互換性を確保しつつ、300mm 装置の最新設計を取り入れて処理速度を高めました。175 枚を処理する高生産性炉と、100 枚を処理する低天井対応炉のオプションを用意しています。

大気中の酸素濃度や湿度に敏感なプロセスに対応する雰囲気制御もオプションで用意し、コントローラーを最新のアーキテクチャに刷新して処理性能を高めるとともに生産中止リスクを払拭しました。用途は CVD 膜・酸化膜の形成、酸化、拡散、低温〜超高温のアニールです。

主な特長

•VERTEX シリーズとのプロセス互換
•175 枚の高生産性炉／100 枚の低天井対応炉（オプション）
•雰囲気制御オプション
•最新アーキテクチャのコントローラー

主な仕様

方式	バッチ縦型炉（175 枚の大容量炉オプション）
対応ウェハ径	200 mm（150 mm 以下にも対応）
処理	酸化・拡散・超高温アニール・CVD
主要用途	200mm ラインの熱酸化・熱処理

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	東京エレクトロン（TEL）TELINDY PLUS™	Kokusai Electric（国際電気）VERTEX Revolution	光洋サーモシステムVF-5300H
方式	バッチ式縦型炉（ホットウォール）	バッチ縦型炉（175 枚の大容量炉オプション）	ストッカー式縦型炉（75 枚）
対応ウェハ径	300 mm	200 mm（150 mm 以下にも対応）	150 ～ 200 mm
処理	酸化・アニール・成膜	酸化・拡散・超高温アニール・CVD	高温酸化・酸窒化
主要用途	ゲート酸化膜などの熱酸化	200mm ラインの熱酸化・熱処理	SiC パワーデバイスのゲート酸化