NovusEdge G2的特點與規格

NovusEdge G2 是 Onto Innovation 針對 300mm 無圖案晶圓的邊緣・缺口・背面檢測設備，採模組式構成，可快速且確實地進行檢測。

針對現行與先進節點，以高靈敏度檢測無圖案晶圓的邊緣與背面。在同一自動化平台上組合檢測模組，在提高產能的同時維持小佔地面積，改善持有成本。

自動化平台與檢測模組皆採用夾持邊緣的處理方式，維持製造所需的潔淨度。可選配追加高靈敏度的缺口檢測。缺陷會在執行時自動分類，因此能減少人工複檢。