RF-200EX／RF-300EX（コータ・デベロッパ）

次世代パワーデバイス・車載デバイス向けのコータ・デベロッパ。RF-200EX は 200mm 専用、RF-300EX は薄ウェーハ対応。

RF-200EX／RF-300EXとは

RF-200EX と RF-300EX は、SCREEN の次世代パワーデバイス・車載デバイス向けのコータ・デベロッパ（塗布現像装置）です。長年培った塗布・現像のノウハウを受け継ぎ、高い生産性と省フットプリントを両立しました。塗布時のレジスト消費量や稼働時の消費電力も減らしています。

RF-200EX は 200mm ウェーハ向けの専用設計で、省フットプリントと DUV プロセスへの対応を実現しました。300mm 装置で培った多段構成の技術をもとに 150〜200mm 専用のプラットフォームを新しく設計し、薬液消費の削減、パーティクル・欠陥の低減、保守性の向上など最先端向けのユニット技術を移植しています。

RF-300EX は薄いウェーハ向けに専用設計した搬送・保持機構で、薄ウェーハを割らずに安定して塗布・現像します。薬液の種類や粘度に応じて吐出システムを選べ、レジスト、ポリイミド、SOC など幅広い薬液に対応します。

主な特長

•200mm 専用プラットフォーム
•薄ウェーハ対応（RF-300EX）
•多様な薬液に対応
•レジスト・電力の削減

主な仕様

対応ウェハ径	150〜200 mm（RF-200EX）
対応薬液	レジスト・ポリイミド・SOC など（RF-300EX）
特徴	レジスト消費量・消費電力の削減

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	東京エレクトロン（TEL）CLEAN TRACK LITHIUS Pro DICE	東京エレクトロン（TEL）CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z	東京エレクトロン（TEL）CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ AP	東京エレクトロン（TEL）CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ V	東京エレクトロン（TEL）CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™	SCREENホールディングスDT-3000（SOKUDO DUO）	SCREENホールディングスRF-200EX／RF-300EX（コータ・デベロッパ）	SCREENホールディングスSK-60EX／SK-80EX（コータ・デベロッパ）	SCREENホールディングスSC-80EX（スプレーコータ）
対応ウェハ径	300 mm	300 mm	—	—	—	300 mm	150〜200 mm（RF-200EX）	—	100〜200 mm
方式	—	—	塗布現像（300mm）	塗布現像（300mm）	塗布現像（300mm）	—	—	塗布・現像	スプレー塗布（ウェーハ温調付き）
特徴	High-NA EUVプロセス向け欠陥制御技術	—	—	OEE の最大化・ダブルパターニングへの拡張性	OEE 向上・CoO 低減・省スペース	—	レジスト消費量・消費電力の削減	—	—
主要用途	先端リソグラフィのレジスト塗布・現像	レジスト塗布・現像・各種ベーク	先端パッケージング	—	—	—	—	—	—
関連機種	—	LITHIUS Pro AP（300 mm／200 mm対応）（派生機種）	—	LITHIUS Pro V-i	LITHIUS Pro-i	—	—	—	—
スループット	—	インライン 300 wph	—	—	—	450 枚／時以上	—	—	—
対応プロセス	—	EUV・液浸・ArF・KrF・i線・SOC	—	—	—	液浸リソグラフィ・電子ビーム・DSA	—	—	—

1機種だけが掲載している項目（10件）

位置づけ	LITHIUS Pro Z の後継機	—	—	—	—	—	—	—	—
販売開始	2025年12月	—	—	—	—	—	—	—	—
対応ノード	—	10 nm 世代以降	—	—	—	—	—	—	—
対応材料	—	—	高粘度材料・Spin-on Hard Mask	—	—	—	—	—	—
構成	—	—	—	—	—	デュアルトラック（2プロセスライン並列）	—	—	—
運用	—	—	—	—	—	片ラインのメンテナンス中も生産継続が可能	—	—	—
対応薬液	—	—	—	—	—	—	レジスト・ポリイミド・SOC など（RF-300EX）	—	—
対応基板	—	—	—	—	—	—	—	薄ウェーハ・厚基板・ガラス・LT・サファイア・磁性材料基板など	—
互換性	—	—	—	—	—	—	—	60／80 シリーズとレシピ互換	—
ノズル	—	—	—	—	—	—	—	—	薬液用最大 2・溶剤用 1