CLEAN TRACK LITHIUS Pro AP的特點與規格

CLEAN TRACK LITHIUS Pro AP 是東京威力科創（TEL）支援 300mm 晶圓的塗佈顯影設備。支援高黏度材料與旋塗硬遮罩材料，針對新一代封裝技術所需的製程進行最佳化。

承襲受到眾多客戶支持的 CLEAN TRACK ACT 12 的概念，將封裝所需的硬體與製程最佳化。

搭載 LITHIUS Pro Z 所採用的附對準功能新傳送系統與薄型旋塗模組，進一步提升可靠度、生產力與良率。不僅在先進製程，也在封裝市場中有助於提升生產力與良率。