ANTARES 是東京威力科創適用 300mm 晶圓的單晶圓式全自動氣膠清洗設備。以將導入氣體在低溫下氣膠化的獨家技術，穩定地只去除元件表面的微細微粒。
與傳統濕式清洗不同，這是不使用化學品也不使用水的完全乾式製程。因此能在不損傷 Cu 與 Low-k 膜的情況下減少缺陷，並抑制各種金屬材料的腐蝕、水痕的形成與表面帶電（charge-up）。
在乾式環境下，即使是非常敏感的薄膜，也能在不引起表面反應・表面粗化・蝕刻損傷的情況下處理，因此用於從後段到前段廣泛製程的缺陷對策，對提升良率具有效果。
ANTARES的特點與規格
東京威力科創（TEL）・乾式清洗設備
將導入氣體低溫氣膠化，只去除微粒的東京威力科創 300mm 單晶圓乾式清洗設備。不會損傷 Cu 與 Low-k 膜。
產品概要
主要規格
| 適用晶圓尺寸 | 300 mm |
|---|---|
| 方式 | 單晶圓式・低溫氣膠（不使用化學品與水的完全乾式） |
| 主要用途 | 微細圖形的微粒去除（FEOL～BEOL） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
以低溫氣膠進行完全乾式清洗（不使用化學品與水）
不損傷 Cu・Low-k 膜的微粒去除
抑制腐蝕・水痕・表面帶電
主要用途
- 微細圖形表面的微粒去除
- 從 BEOL（Cu／Low-k）到 FEOL 的缺陷對策
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣東京威力科創（新竹）：台灣子公司（1996 年成立）。設有訓練中心，並規劃擴建無塵室
- 台南營運中心（台南）：動工時預計 2024 年下半年完工，樓地板面積約 3.5 萬平方公尺，可容納近千名員工，負責零組件處理、技術服務與維修