ALPHA-8SE i 是東京威力科創(TEL)的 200mm 立式批次式熱處理成膜設備。以「革新」「傳承」「進化」3 個概念,作為前一機種 ALPHA-8SE 的翻新設備於 2018年推出。
將上市已超過 20 年的前一機種零件中可能停產者更新為最新配置,並與 300mm 立式批次爐共用零件,實現穩定・持續運轉。支援 150・200mm,一次最多可處理 150 片。支援氧化・退火、CVD Si(Poly、a-Si)、SiN、SiO₂,以及包含 High-k 在內的 ALD。
擷取更多設備參數以改良遠端監控功能,也採用操作畫面的自動登出與低釋氣的排氣管路加熱器。符合 SEMI S2 與 CE 標章。