最後更新:2026年10月23日擴散爐

ALPHA-8SE i的特點與規格

東京威力科創(TEL)・擴散爐

東京威力科創(TEL)於 2018年將前一機種全面翻新的 200mm 立式批次式熱處理成膜設備。一次最多處理 150 片。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

ALPHA-8SE i 是東京威力科創(TEL)的 200mm 立式批次式熱處理成膜設備。以「革新」「傳承」「進化」3 個概念,作為前一機種 ALPHA-8SE 的翻新設備於 2018年推出。

將上市已超過 20 年的前一機種零件中可能停產者更新為最新配置,並與 300mm 立式批次爐共用零件,實現穩定・持續運轉。支援 150・200mm,一次最多可處理 150 片。支援氧化・退火、CVD Si(Poly、a-Si)、SiN、SiO₂,以及包含 High-k 在內的 ALD。

擷取更多設備參數以改良遠端監控功能,也採用操作畫面的自動登出與低釋氣的排氣管路加熱器。符合 SEMI S2 與 CE 標章。

主要規格

方式立式批次式熱處理成膜
適用晶圓尺寸150/200 mm
處理片數最多 150 片

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

200mm 立式批次爐
一次最多 150 片
與 300mm 爐共用零件
符合 SEMI S2・CE

主要用途

  • 200mm 產線的氧化・退火
  • CVD・ALD

製造商與在台據點

在台據點
  • 台灣東京威力科創(新竹):台灣子公司(1996 年成立)。設有訓練中心,並規劃擴建無塵室
  • 台南營運中心(台南):動工時預計 2024 年下半年完工,樓地板面積約 3.5 萬平方公尺,可容納近千名員工,負責零組件處理、技術服務與維修

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資料來源

  1. 東京威力科創(TEL)官方產品頁面:TEL TELINDY