Luminous NA 系列是愛發科（ULVAC）的灰化設備。設計上不限晶圓尺寸，支援從次世代晶圓製程到晶圓級封裝（WLP）。
除晶圓用之外，也有支援最大 600mm 見方面板的機型。用於離子佈植後的光阻剝除、聚合物去除與除渣。
Luminous NA 系列的特點與規格
愛發科（ULVAC）・灰化設備（光阻灰化）
不限晶圓尺寸的愛發科（ULVAC）灰化設備。支援從次世代晶圓製程到 WLP。
產品概要
主要規格
| 方式 | 電漿灰化 |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | 不限晶圓尺寸（面板型最大 600 mm 見方） |
| 組成 | 晶圓用／面板用 |
| 主要用途 | 離子佈植後光阻剝除・聚合物去除・除渣 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
不限晶圓尺寸的設計
面板型最大 600mm 見方
主要用途
- 離子佈植後的光阻剝除
- 聚合物去除・除渣
- WLP・面板級封裝
製造商
愛發科（ULVAC）（總部：日本）