NLD-570的特點與規格

NLD-570 是愛發科（ULVAC）的乾式蝕刻設備，搭載以自行開發的磁中性線電漿（NLD）產生的低壓・低電子溫度・高密度電漿。

NLD 能以比 ICP 方式更低的壓力產生高密度、低電子溫度的電漿，可加工石英、玻璃、水晶、LN、LT 基板等。能進行具優異形貌控制與表面平滑性的蝕刻。

腔體維護簡單且有效率。可對應從光罩蝕刻到石英・玻璃蝕刻的廣泛製程，用於製作繞射光柵、調變器、光波導、光開關等光元件，以及凹凸型微透鏡、光子晶體、μ-TAS 的流道。