NLD-5700的特點與規格

NLD-5700 是愛發科（ULVAC）面向光電元件・MEMS 的乾式蝕刻設備，搭載以獨家磁中性線電漿（NLD）產生的低壓・低電子溫度・高密度電漿。

標準配備晶舟盒室，追加對準機構後即可作為量產設備使用。也可追加蝕刻腔體或灰化腔體。

NLD 能以比 ICP 方式更低的壓力產生高密度、低電子溫度的電漿，因此可加工石英、玻璃、水晶、LN、LT 基板等。用於製作光元件、微透鏡、光子晶體、μ-TAS 的流道等。